Débitmétrie gaz : comparaison des bancs d’étalonnages CS et INFILTRO

Résumé et principaux résultats

Ce document présente les résultats d'une comparaison entre les bancs CS et INFILTRO réalisée à l'aide d'un débitmètre à flux laminaire MERIAM Instruments associé à des transmetteur de pression MKS utilisés comme étalon de transfert. La bonne cohérence entre les résultats permet de valider le banc INFILTRO en termes de calcul des grandeurs de référence, meilleure incertitude et fuite résiduelle.
Title: Comparison between CS and INFILTRO calibration benches
Abstract: This paper presents the results of a comparison between the CS and INFILTRO benches using a laminar flow meter MERIAM associated with MKS Instruments pressure transmitters used as transfer standard. Good consistency between the results validates the bench INFILTRO in terms of calculation of reference quantities, best uncertainty and residual leakage.